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一、引言上世紀50年代以后，隨著離子注入、擴散、外延生長和光刻四種基本工藝的發(fā)明，半導體工藝逐漸發(fā)展起來。芯片被顆粒和金屬污染，容易導致短路或開路等失效，因此除了在整個生產(chǎn)過程中避免外部污染外，在制...
半導體設備是支撐電子行業(yè)發(fā)展的基石，也是半導體產(chǎn)業(yè)鏈上游環(huán)節(jié)市場空間最廣闊，戰(zhàn)略價值最重要的一環(huán)。從整體來看，中國大陸的半導體設備行業(yè)，同全球半導體設備行業(yè)一樣，享受著本土晶圓廠擴產(chǎn)，地方規(guī)劃重點...
近日，我公司又完成了一批設備順利通過調(diào)試并出廠發(fā)至使用方，承蒙信賴，CGB也不負重托，我們從材料、工藝、制造、設備運行全過程進行嚴格把控，嚴把設備質(zhì)量關(guān)、嚴把出廠檢驗關(guān)，確保設備的可靠性、穩(wěn)定性。客戶...
一、半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展概況半導體制造過程中不可避免會產(chǎn)生一些顆粒、有機物、自然氧化層、金屬雜質(zhì)等污染物，清洗機是指對晶圓表面進行無損傷清洗以去除雜質(zhì)，獲得所需潔凈表面，為下一步工藝準備良好條件...
碳化硅襯底是新近發(fā)展的寬禁帶半導體的核心材料，碳化硅襯底主要用于微波電子、電力電子等領(lǐng)域，處于寬禁帶半導體產(chǎn)業(yè)鏈的前端，是前沿、基礎(chǔ)的核心關(guān)鍵材料。4H-SiC具有3.2（eV）的禁帶寬度，2.00飽和電子漂移速...
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