半自動槽式清洗機是一種結合了自動和手動操作的清洗設備,具有較大的操作靈活性,能夠適應不同尺寸和類型的晶圓清洗需求,適用于多樣化的生產環境。
? 兼備一定自動化功能,如清洗液的循環、加熱、拋動、旋轉等操作可自動完成,減輕了人工操作強度,同時又保留了人工參與環節,操作人員能根據實際情況進行干預和調整,靈活性較高。
? 通常配備操作面板,界面簡潔直觀,按鈕和顯示屏布局合理,工作人員經簡單培訓就能熟練操作,降低了對操作人員專業技能的要求。
? 與一些全自動高端清洗設備相比,槽式半自動濕法清洗機結構相對簡單,價格較為便宜,能為企業節省設備采購成本。
? 設計有多重安全防護裝置,如液位保護、溫度保護、漏電保護等,能有效防止因操作失誤或設備故障引發的安全事故,保障操作人員和設備的安全。
適用尺寸 | 4/6/8/12 inch |
承載方式 | 標準Cassette、Loadport |
傳遞方式 | The Top Robot |
上下料方式 | 人工手動 |
槽蓋方式 | Auto Cover |
槽位排布 | 單排/雙排 |
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