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干燥機(jī)
臥式晶圓甩干機(jī)
臥式晶圓甩干機(jī)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵清洗設(shè)備，專為實(shí)現(xiàn)晶圓的高效、快速干燥而設(shè)計(jì)。此干燥步驟對(duì)保障后續(xù)工藝質(zhì)量和產(chǎn)品可靠性至關(guān)重要。其核心原理是利用高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力將晶圓表面的水分甩離。在甩干過(guò)程中，旋轉(zhuǎn)動(dòng)作在腔體內(nèi)形成氣流，引導(dǎo)外部空氣從槽蓋被吸入，經(jīng)FFU（風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元）濾芯過(guò)濾凈化后，最終由專用排氣系統(tǒng)順暢排出。為應(yīng)對(duì)甩干時(shí)可能產(chǎn)生的靜電積聚（易導(dǎo)致顆粒粘附），這類氣流式甩干機(jī)通常還集成靜電消除部件，以有效減少此類現(xiàn)象發(fā)生。
產(chǎn)品詳情
適用尺寸 | 4&6inch/6&8inch/12inch | ||||
| 使用材質(zhì) | 硅、碳化硅、砷化鎵、磷化銦 | ||||
| 最大轉(zhuǎn)速 | 800~1200RPM | ||||
| 干燥時(shí)間 | 30~180S/Batch | ||||
| 承載量 | 4 cassette/Batch 25Pcs/cassette | ||||
| 腔體材質(zhì) | 316L-EP不銹鋼 | ||||
| 過(guò)濾等級(jí) | H14級(jí)HEPA（或ULPA U15） | ||||
| 電離器類型 | 高頻交流離子棒 | ||||
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