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是一種高度自動化的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，主要用于24小時不間斷向生產(chǎn)線提供各種化學(xué)液體。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體材料加工、LED、太陽能光伏、MEMS等行業(yè)中濕法設(shè)備的化學(xué)液自動供給。CDS供液系統(tǒng)能實現(xiàn)化學(xué)液的自動加液、補液及配液，確保生產(chǎn)過程中化學(xué)液的精確配比和穩(wěn)定供應(yīng)，是許多工藝的核心支持系統(tǒng)。

? 配備高精度的計量裝置，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。

? 先進的控制系統(tǒng)，能保證化學(xué)藥液以穩(wěn)定的流量輸出。

? 具備在線監(jiān)測和故障診斷功能，幫助維修人員快速定位解決問題。

? 遠程監(jiān)控操作，提高了操作的便捷性和安全性。

? 自動配液功能，提高了配液的準確性和效率。

? 多種藥液兼容，滿足不同生產(chǎn)工藝對多種化學(xué)藥液的需求。