廢氣處理系統針對半導體生產中產生含多種有害物質的廢氣,如酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣、反應性氣體、重金屬氣體等,進行有效的分解、處理。尾氣處理設備可將這些有害物質轉化為無害或低害物質,防止其排放到大氣中,減少對空氣、水體和土壤的污染,保護生態平衡。能降低車間內有害氣體濃度,為員工創造安全健康的工作環境,減少有害物質對員工呼吸系統、神經系統等的損害,降低職業病發生風險。尾氣中的腐蝕性成分會對生產設備、通風管道等造成腐蝕,縮短其使用壽命,增加維護成本。處理尾氣可減少這種腐蝕,延長設備和設施的使用年限。
? 處理效率高:配備磁力泵、噴淋裝置、活性炭吸附裝置等,可快速高效的進行廢氣處理。
? 運行穩定可靠:通常采用先進的控制系統,如PLC控制,可實時監測和調節設備運行參數,確保在不同工況下都能穩定運行,減少故障發生概率,保障尾氣處理效果。
? 操作簡便:自動化程度高,通過遠程操作和管理,提高工作效率。
外形尺寸 | L1500*W800*H2000mm |
腔體數量 | 單腔/雙腔 |
處理能力 | 2m3/H |
安全功能 | 漏電保護、漏液保護、液位保護 |
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