通過化學蝕刻,該方法蝕刻出來的石英環能達到表面清潔效果良好的要求,并可以提高生產效率,更適合于量產。工藝柔性化設計,可設備多組工藝配方。多級別用戶工藝數據庫,可供用戶使用和存儲。
? 酸槽蝕刻:化學液配合循環過濾系統對石英環表面進行微蝕刻處理
? 化學液回收利用:工藝完成后,化學液經過濾器進入儲液箱,可供下次重復利用
? 水槽清洗:配有快速注水、慢速溢流、高壓噴淋、底部鼓氮、急速排放等多重功能于一身,滿足不同工件的工藝要求
? 節水功能:慢速溢流后與噴淋后的DIW可經回收管路進入純水箱,供下次注水使用,可很大程度上節約DIW
? 干燥功能:使用高溫N?風配合槽內紅外加熱管進行干燥
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