純水預熱柜是一種濕法清洗設備中的關鍵子系統(tǒng),主要用于保障
工藝穩(wěn)定性和能效。通過熱交換系統(tǒng)將去離子水(DI水)升溫至設定溫度(如80℃左右),直接輸送至設備內(nèi)部工藝槽。系統(tǒng)可根據(jù)設備內(nèi)部工藝槽的實際容積,動態(tài)調(diào)節(jié)流量參數(shù),以實現(xiàn)精準匹配工藝需求。
? 熱源設計?:采用紅外加熱管加熱系統(tǒng),通過電加熱介質(zhì)間接提升純水溫度,避免直接接觸污染
? 水箱設計:采用高純石英材質(zhì),潔凈度高,無顆粒或金屬元素析出,且加熱效率高
? 供水泵設計:采用全PTFE材質(zhì)氣動泵,無污染析出,可長期耐高溫工作
? 閥門設計:采用全PFA材質(zhì)氣動閥,無污染析出,可長期耐高溫工作
? 保溫層設計:采用外包式保溫棉+保溫層雙層保溫設計,熱量損失小
恒溫精度 | ±0.5℃ |
加熱功率 | 6-12KW |
溫度保持 | 75~85℃ |
熱水箱容積 | 80L |
柜體外形尺寸 | L800*W600*H1500mm |
供水流量 | 10-20L/Min |
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