全自動籽晶刷洗機通過旋轉式刷頭及二流體，配合DIW可以有效去除晶圓上殘留的物理顆粒，主要用于不同規格籽晶片的清洗。
? 可兼容6-12吋多規格晶圓
? 具備刷頭自清潔功能
? 獨立翻轉模塊，可實現晶圓正反面自動翻轉并清洗
? 可實現多規格晶圓精準對中
? 優秀的清洗效果
? 多種安全檢測，不易產生碎片
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